办公室:国量院707

研究方向: 微纳加工工艺

办公室:国量院732

研究方向: 硅基单原子量子器件微纳加工

办公室:国量院437

研究方向: 量子器件与芯片微纳加工工艺

办公室:国量院519

研究方向: Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体外延片生长及检测

办公室:国量院342

研究方向: 二维材料制备和光电子源

办公室:国量院437

研究方向: 半导体光刻清洗工艺、厂务及EHS