办公室:国量院437

研究方向: 量子器件与芯片微纳加工工艺

办公室:国量院519

研究方向: Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体外延片综合检测与后端工艺优化

办公室:国量院342

研究方向: 二维材料制备和光电子源

办公室:国量院437

研究方向: 半导体光刻清洗工艺、厂务及EHS

办公室:国量院427

研究方向: 大尺寸晶圆杂质去膜清洗

办公室:国量院505

研究方向: 极低温设备和仪器的设计与测试、设备管理与规划