3月27日下午，由量子研究院党委主办，量子工程应用（深圳市量子信息学会）党支部承办的第3期卓粤工程技术论坛在518报告厅举办。论坛汇聚了量子工程领域的专家学者，吸引了院内众多师生到场交流。

此次论坛聚焦量子工程领域的热点话题，围绕电气技术、电子束曝光机、石墨烯制备、综合物性测量系统、原子层沉积技术及量子器件加工等多个前沿领域，深入探讨了这些技术在工业自动化、量子科学及先进材料研发中的应用与挑战。

01 电气技术在工业自动化的作用

赵志勇工程师的报告强调了电气技术在工业自动化中的核心驱动角色，详细阐述了其在动力控制、逻辑流程控制、运动控制及传感反馈等方面的关键作用，为理解现代工业生产的智能与高效运行提供了深刻洞察。

02 电子束曝光机相关电路简介及电路设计经验分享

彭小冲工程师介绍了电子束光刻技术的高精度微纳加工应用，特别是其在量子芯片制造中的核心地位。报告分享了电子束曝光机相关电路的设计方案及通用经验，为量子器件的研发提供了宝贵参考。

03 石墨烯规模化制备研究现状

田圳工程师针对石墨烯的工业化应用挑战，介绍了一种实现大尺寸、高质量单晶石墨烯批量化制备的方法，为石墨烯材料的广泛应用开辟了新路径。

04 综合物性测量系统（PPMS）的介绍

张晗工程师详细讲解了PPMS作为一款无液氦低温强磁场设备的功能与应用，强调了其在量子材料研究中的重要性，为探索新型量子材料与器件提供了高效解决方案。

05 原子层沉积（ALD）技术及工艺介绍

王巧鸣副研究员介绍了ALD技术在复杂三维结构表面形成均匀纳米级薄膜的优势，展望了其在微纳制造与量子计算器件研发中的潜在应用。

06 量子器件与芯片加工中心刻蚀方向工艺能力报告

刘嘉伟工程师报告了量子器件与芯片加工中心在刻蚀方向的设备及工艺能力，展示了兼容8英寸以下尺寸晶圆的加工实力，为量子芯片的研发提供了有力支持。

本次论坛内容丰富、精彩纷呈，提供了一个高效交流与展示的平台，也拓宽了研究院师生的专业视野，为量子工程应用领域的技术进步与人才培养奠定了坚实基础。