
一、个人简介
本人长期致力于半导体制造领域,专注于深紫外(DUV)光刻机工艺工作。光学系统校准、光刻胶性能优化、曝光剂量精确控制等环节全方位参与光刻工艺流程,不断优化生产参数。通过先进模拟软件预测工艺缺陷并加以改进,同时与设备维护团队紧密合作,确保光刻设备稳定运行与升级。与光罩制作、刻蚀、薄膜沉积等工艺部门紧密协作,共同解决兼容性难题,持续优化微纳加工工艺平台整体工艺集成,为先进制程研发提供有力支持,助力团队攻克多项技术难题,推动光刻工艺不断进步。
二、教育背景
2018.10-2022.10 古斯塔夫埃菲尔大学 光电子工程 博士学位
2016.09-2018.10 巴黎高等电子工程师学院 微电子工程 工程师学位
2013.09-2017.06 西安交通大学 精密技术与仪器 学士学位
三、工作经历
2022.10-2024.10 南方科技大学 博士后
2024.10-至今 深圳国际量子研究院 工程师